Распыление периферийных областей
Изменение траектории ионов около края мишени и бомбардировка ее под более острыми углами вызывают локальное увеличение плотности ионного тока и усиливают Распыление периферийных областей. Как показали проведенные расчеты и экспериментальные исследования. Зависимость /Спим от распылительных системах, параметра а. имеющих небольшие размеры по сравнению с расстоянием мишень — подложка, для повышения степени равномерности осаждаемых пленок по Толщине следует увеличивать плотность ионного тока в узкой кольцевой области, непосредственно прилегающей к периферии мишени. Реализация преимущественного распыления периферийных областей наиболее полно может быть осуществлена в установках с автономными ионными источниками, и при этом в 3—4 раза может быть увеличена площадь полезного использования мишени.
Реализация преимущественного распыления периферийных областей наиболее полно может быть осуществлена в установках с автономными ионными источниками, и при этом в 3—4 раза может быть увеличена площадь полезного использования мишени.
